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旋转硅靶
- 所属分类：旋转硅靶
- 浏览次数：1233次
- 发布日期：2022/10/21 13:22:35
～硅旋转靶材～
化学组成:Si（硅）
制作工艺:HPS
密度:2.2g/cm3（＞95%）
电阻系数（20°）:＜1Ω．㎝
纯度:＞99.95
旋转尺寸:4000㎜×9t㎜
杂质含量(Unit:ppm)
～Nb2OX旋转靶材～
化学组成:Nb2Ox
制作工艺:HPS
密度:4.3g/cm3（＞95%）
电阻系数（20°）:＜0.1Ω．㎝
纯度:＞99.95
旋转尺寸:4000㎜×10t㎜
杂质含量(Unit:ppm)
～铝旋转靶材～
化学组成:AL（铝）
制作工艺:One-batch forming
密度:2.7g/cm3（＞99.99%）
纯度:＞99.99%
旋转尺寸:4000㎜×10t㎜
杂质含量(Unit:ppm)
～铬旋转靶材～
化学组成:Cr（铬）
制作工艺:HPS
密度:6.8g/cm3（＞95%）
纯度:＞99.5
旋转尺寸:4000㎜×10t㎜
杂质含量(Unit:ppm)
～AZO旋转靶材～
化学组成:ZnO.Al2O3(98:2wt%)
制作工艺:HPS
密度:4.3g/cm3（＞95%）
纯度:＞99.95%
电阻系数(20°）:＜0.0005Ω.cm
旋转尺寸:4000㎜×9t㎜
杂质含量(Unit:ppm)
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